Sérstakar lofttegundir innihalda aðallega háhreinar lofttegundir, rafeindagas, staðlaðar lofttegundir, rafrænar sérstakar lofttegundir (vísað til sem rafræn sérhitastig) er þung grein, það er ofurstórt samþætt hringrás (IC), flatskjábúnaður (LCD, LED, OLED), sólarsellu og önnur rafræn iðnaðarframleiðsla. Skortur á hráefni.
Venjulega skiptir hálfleiðaraframleiðsluiðnaðurinn lofttegundunum í algengar lofttegundir og sérstakar lofttegundir.Meðal þeirra vísar almennt notað gas til samþjappaðs framboðs og notar mikið gas líkama, svo sem N2, H2, O2, Ar, HE, osfrv. Sérstakt gas vísar til hálfleiðaraframleiðslutengilsins, svo sem framlengingu, jónísk innspýting, blöndun, þvottur, hindrun
Sumar efnalofttegundir eru notaðar við himnumyndun, það er rafeindagastegundir í gasflokkum, svo sem SiH4, pH3, ASH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCl, CL2, osfrv. , í IC framleiðslutengingunni er rafeindagasið sem notað er næstum meira en 100.
Kjarnavinnuhlutinn er algengur í 30 tegundum.Það eru þessar lofttegundir sem hafa frammistöðu hálfleiðara í gegnum mismunandi ferla, sem ákvarðar samþætta hringrásina.
Afköst, samþætting, fullunnin vara, jafnvel ákveðin tiltekin óhreinindi fara yfir staðalinn, mun leiða til alvarlegra gæðagalla, mun vera vegna óhæfrar gasdreifingar, sem leiðir til mengunar í gegnum framleiðslulínuna, og jafnvel framleiðslulínan er full af lömun.
Wofly Technology veitir (O 2 / AR / N / h 2 / he o.s.frv.) notað í sólarljósavirkjunum (O 2 / AR / N / h EEE, "S i H 4 / g EH 4 / PH 3 / ASH 3 / SBH3 / B2H6 / BF3 / NF3 / PF3 / PF5 / CF5 / CF4 / C2H6 / C3F8, osfrv.) Háhreint ferli gasveitukerfi;Staðbundið útblásturshreinsunarkerfi, GMS gasskynjunarviðvörunarkerfi osfrv. Allt frá hönnun, vali, framleiðslu, uppsetningu, prófunum, villuleit og kerfishýsingarþjónustu.
Rafræn sérstakt gegnir mikilvægu hlutverki í framleiðslu á tvenns konar almennum rafhlöðu sólkristal kísilfrumum og þunnfilmu sólarsellum.Sólarrafhlaða
Það er ljósa hálfleiðara lak sem nýtir sólarljós beint knúið, vegna þess að sólarorka er endurnýjanleg hrein orka, sól klefi hefur víðtæka þróun. Í kjarna hluti af sól klefi.Rafræn sérhæfing gegnir mikilvægu hlutverki í mörgum framleiðsluhlekkjum sólarsellna, þar með talið dreifingu, leturgröftur, útfellingu osfrv.
Nýr R41 ventilhús háþrýstingur 6000PSI köfnunarefnis- og súrefnisþrýstingsstillir
Birtingartími: Jan-26-2022