Mismunur á háum og lágum rennslishraða með stýrisaðilum með mikilli hreinleika:
Hátt flæðisstýringar eru venjulega hannaðar til að takast á við hærri gasflæði, venjulega á lítrum á mínútu (l/mín.) Eða rúmmetra á klukkustund (m³/klst.). Aftur á móti eru lágstreymisstýringar hentugir fyrir lægra gasflæðissvið, venjulega í millilítra á mínútu (ml/mín.) Eða lítrum á klukkustund (l/klst.).
Hönnun þrýstingseftirlitsloka fyrir mjög háar hreinleika lofttegundir:
Hönnun loki: Eftirlitsstofnanir með mikið flæði nota venjulega stærri lokana og leið til að takast á við stærra gasstreymi. Þessir lokar geta krafist stærri stimpla, þindar eða annarra vökvastýringarþátta til að ná nákvæmri stjórnun á flæði. Eftirlitsstofnanir með lítið rennsli nota aftur á móti smærri loka og leið til að koma til móts við lægri flæðisþörf.
Þrýstingssvið ofurháa hreinleika gasþrýstingseftirlits :
Eftirlitsstofnanir með hátt flæði hafa venjulega breiðara þrýstingssvið og geta séð um hærri inntaksþrýsting og stígað niður til lægri framleiðsluþrýstings. Lágt flæðisstýringar geta verið með tiltölulega þröngt þrýstingssvið fyrir lægri inntaksþrýsting og náð minni framleiðsla þrýstingssviðinu.
Ytri víddir ofurhigh-ephit gasþrýstingseftirlits :
Vegna þess að eftirlitsstofnanir með mikið rennsli eru nauðsynlegir til að takast á við stærra gasstreymi, hafa þeir venjulega stærri ytri víddir og þyngri þyngd til að koma til móts við meiri vökvavirkni. Aftur á móti geta litlir flæði eftirlitsaðilar verið samningur og léttari fyrir geimbundna eða farsímaforrit.
Notkunarsvið fyrir öfgafullt há-hreinleika gasþrýstingseftirlit :
Oft er notað hátt flæði eftirlitsaðila í forritum sem krefjast mikils rennslishraða gasframboðs, svo sem iðnaðarferliseftirlits og stórra rannsóknarstofubúnaðar. Lítil flæðisstýringar eru notaðar í forritum sem krefjast lægri rennslishraða og nákvæmari stjórnunar, svo sem greiningaraðila á rannsóknarstofu, vísindarannsóknum osfrv.
Meginregla um rekstur Ultrahigh-Opeation Gas þrýstingseftirlits :
Lækkandi gasþrýstingslækkandi gasþrýstingur notar venjulega stillanlegan loki og þrýstingskynjara. Þegar háþrýstingsgas fer inn í þrýstingslækkunina aðlagar lokinn sjálfkrafa rofann til að draga úr þrýstingi í viðeigandi framleiðsluþrýsting miðað við stillt þrýstingsgildið.
Á heildina litið eru minnkunarlækkun með miklum hreinleika lofttegunda mikið notuð í hálfleiðara framleiðslu, optoelectronics, ljósgeislun, nanótækni, rannsóknarstofu rannsóknum og öðrum sviðum þar sem krafist er mikils hreinleika lofttegunda. Þeir eru notaðir til að stjórna gasþrýstingi og flæði til að uppfylla sérstök ferli og tilraunaþörf.
Pósttími: Ágúst-17-2023