Í hálfleiðara tilbúningi, gera lofttegundir alla vinnu og leysir fá alla athygli. Þó að leysir geri ets smári mynstur í sílikon, þá er ætin sem setur fyrst kísilinn og brýtur niður leysirinn til að búa til fullkomnar hringrásir er röð lofttegunda. Það kemur ekki á óvart að þessar lofttegundir, sem eru notaðar til að þróa örgjörva í gegnum fjölþrepa ferli, eru með mikla hreinleika. Til viðbótar við þessa takmörkun hafa margir þeirra aðrar áhyggjur og takmarkanir. Sumar lofttegundirnar eru kryógenískar, aðrar eru ætandi og enn aðrar eru mjög eitruð.
Að öllu samanlögðu gera þessar takmarkanir framleiðslu gasdreifingarkerfi fyrir hálfleiðaraiðnaðinn að töluverðum áskorunum. Efnisforskriftir eru krefjandi. Til viðbótar við efnisforskriftir er gasdreifing fylking flókið rafsegulrit af samtengdum kerfum. Umhverfið sem þau eru sett saman í er flókið og skarast. Lokaframleiðsla fer fram á staðnum sem hluti af uppsetningarferlinu. Spor -suðu hjálpar til við að uppfylla kröfur um dreifingu á gasi með háu forskriftinni og gera tilbúning í þéttu og krefjandi umhverfi viðráðanlegri.
Hvernig lofttegundir eru notaðar í hálfleiðaraiðnaðinum
Áður en reynt er að skipuleggja framleiðslu á gasdreifikerfi er nauðsynlegt að skilja að minnsta kosti grunnatriði í hálfleiðara framleiðslu. Í kjarna þess nota hálfleiðarar lofttegundir til að setja nærri eining á yfirborði á mjög stjórnaðan hátt. Þessum innbyggðu föstum efnum er síðan breytt með því að kynna viðbótar lofttegundir, leysir, efnafræðilega ætar og hita. Skrefin í breiðu ferlinu eru:
Útfelling: Þetta er ferlið við að búa til upphaflega kísilþurrku. Kísil forveri lofttegunda er dælt í lofttæmisgeymsluhólf og mynda þunnt kísilþurrkur með efnafræðilegum eða eðlisfræðilegum milliverkunum.
Photolithography: Ljósmyndahlutinn vísar til leysir. Í hærri öfgafullri útfjólubláum lithography (EUV) litrófinu sem notað er til að búa til hæstu forskriftarflís, er koltvísýrings leysir notaður til að eta örgjörvi rafrásina í skífuna.
Æting: Meðan á ætingarferlinu stendur er halógen-kolefnisgasi dælt í hólfið til að virkja og leysa valin efni í kísil undirlaginu. Þetta ferli letur í raun laserprentaða rafrásina á undirlagið.
Dóp: Þetta er viðbótarskref sem breytir leiðni etsflötunnar til að ákvarða nákvæmar aðstæður sem hálfleiðarinn framkvæmir.
Gráing: Í þessu ferli eru viðbrögð milli skífulaga hrundið af stað með hækkuðum þrýstingi og hitastigi. Í meginatriðum lýkur það niðurstöðum fyrra ferlis og býr til lokaða örgjörva í skífunni.
Hreinsun á hólfum og línum: Lofttegundirnar sem notaðar eru í fyrri skrefum, sérstaklega ætingu og lyfjamisnotkun, eru oft mjög eitruð og viðbrögð. Þess vegna þarf að fylla ferlishólfið og gaslínurnar sem fæða það með hlutleysandi lofttegundum til að draga úr eða útrýma skaðlegum viðbrögðum og síðan fyllt með óvirkum lofttegundum til að koma í veg fyrir afskipti af mengandi lofttegundum frá umhverfi utan.
Gasdreifingarkerfi í hálfleiðaraiðnaðinum eru oft flókin vegna margra mismunandi lofttegunda sem taka þátt og þétt stjórn á gasflæði, hitastigi og þrýstingi sem þarf að viðhalda með tímanum. Þetta er enn frekar flókið af öfgafullum hreinum hreinleika sem þarf fyrir hvert gas í ferlinu. Lofttegundirnar sem notaðar eru í fyrra skrefi verða að skola út úr línunum og hólfunum eða hlutlausu á annan hátt áður en næsta skref ferlisins getur hafist. Þetta þýðir að það er mikill fjöldi sérhæfðra lína, tengi milli soðinna rörkerfa og slöngna, tengi milli slöngur og rör og gasstýringar og skynjara, svo og tengi milli allra áður nefndra íhluta og lokana og þéttingarkerfa sem ætlað er að koma í veg fyrir að mengun á náttúrulegum gasi sé skipt út.
Að auki verða hreinsiefni að utan og sérgreinar búin með magngasframboðskerfi í hreinsunarumhverfi og sérhæfðum lokuðum svæðum til að draga úr öllum hættum ef um slysni leka. Að suða þessum gaskerfum í svo flóknu umhverfi er ekkert auðvelt verkefni. Hins vegar, með varúð, athygli á smáatriðum og réttum búnaði, er hægt að ná þessu verkefni með góðum árangri.
Framleiðsla gasdreifingarkerfi í hálfleiðaraiðnaðinum
Efni sem notuð er í hálfleiðara gasdreifikerfi eru mjög breytileg. Þeir geta innihaldið hluti eins og PTFE-fóðraðar málmrör og slöngur til að standast mjög ætandi lofttegundir. Algengasta efnið sem notað er í almennum tilgangi í hálfleiðaraiðnaðinum er 316L ryðfríu stáli - lágt kolefni úr ryðfríu stáli. Þegar kemur að 316L á móti 316, er 316L ónæmari fyrir tæringu á milli. Þetta er mikilvægt íhugun þegar fjallað er um ýmsar mjög viðbrögð og hugsanlega sveiflukenndar lofttegundir sem geta tært kolefni. Suðu 316L ryðfríu stáli losar minna kolefnisúrkomu. Það dregur einnig úr möguleikum á rof kornamörkanna, sem getur leitt til tæringar í suðu og hitahitasvæði.
Til að draga úr möguleikanum á tæringu á leiðslum sem leiða til tæringar á vörulínu og mengun, er 316L ryðfríu stáli soðið með hreinu argon -hlífðargasi og wolfram gashlífuðum suðu teinum staðalinn í hálfleiðaraiðnaðinum. Eina suðuferlið sem veitir þá stjórn sem þarf til að viðhalda miklu hreinleika umhverfi við ferli. Sjálfvirk svigrúm suðu veitir aðeins endurtekna ferlieftirlit sem þarf til að klára suðu í framleiðslu á hálfleiðara gasdreifikerfi. Sú staðreynd að meðfylgjandi suðuhausar í svigrúmum geta komið til móts við fjölmenn og erfið rými á flóknum gatnamótum milli vinnslusvæða er verulegur kostur við ferlið.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, með yfir 10 ára reynslu af framboði iðnaðar- og sérgreina, efni, gasframboðskerfi og gasverkfræði fyrir hálfleiðara, LED, DRAM og TFT-LCD markaði, getum við veitt þér það efni sem nauðsynleg er til að koma vörum þínum í fremstu röð iðnaðarins. Við getum ekki aðeins veitt breitt úrval af lokum og innréttingum fyrir hálfleiðara rafrænar sérgreinar, heldur einnig hannað gasleiðslur og uppsetningu búnaðar fyrir viðskiptavini okkar.
Post Time: júl-31-2023