Tæknilausnir fyrir afhendingarkerfi með miklum hreinleika fyrir hálfleiðara ferla

Háhyggju gasleiðslutækni er mikilvægur hluti af háhátíðargasframboðskerfi, sem er lykiltæknin til að skila nauðsynlegu háu gasi til notkunar og viðhalda enn hæfum gæðum; Háhyggju gasleiðslutækni felur í sér rétta hönnun kerfisins, val á festingum og fylgihlutum, smíði og uppsetningu og prófun. Undanfarin ár hafa sífellt strangari kröfur um hreinleika og óhreinindi innihald mikils metra lofttegunda við framleiðslu á ör rafeindatækni sem táknað er með stórum stíl samþættum hringrásum gert það að verkum að leiðslutækni með miklum skörungum lofttegundum í auknum mæli og lögð áherslu á það. Eftirfarandi er stutt yfirlit yfir gaspípur með miklum skörpum frá efniof Framkvæmdir, sem og staðfesting og daglega stjórnun.

Tegundir algengra lofttegunda

Flokkun algengra lofttegunda í rafeindatækniiðnaðinum：

Algengar lofttegundir（Magngas）: Vetni (h₂₎, köfnunarefni (n₂), súrefni (o₂), argon (a₂) osfrv.

Sér lofttegundireru sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,Pocl_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  Bcl_{3 ,}Sif₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,Hf,HBR SF₆…… ETC.

Almennt er hægt að flokka tegundir sérstakra lofttegunda sem ætandibensín, eitraðbensín, eldfimtbensín, eldfimbensín, óvirkbensínosfrv. Algengar hálfleiðandi lofttegundir eru almennt flokkaðar á eftirfarandi hátt.

(i) ætandi / eitraðbensín: HCl, bf₃, Wf₆, Hbr, Sih₂Cl₂, NH₃, Ph₃, Cl₂, Bcl₃… Osfrv.

(ii) Eldfimibensín: H₂, Ch₄, Sih₄, Ph₃, Ash3, Sih₂Cl₂, B₂H₆, CH2F_2,CH₃F, co… osfrv.

(iii) eldfimbensín: O₂, Cl₂, N₂O, nf₃… ETC.

(iv) óvirkbensín: N₂, Sbr₄, C₂F₆, C₄F_8,Sf₆, Co₂, Ne, Kr, hann… osfrv.

Margar hálfleiðara lofttegundir eru skaðlegar mannslíkamanum. Sérstaklega, sumar þessara lofttegunda, svo sem SIH₄ Sjálfsprottinn bruni, svo framarlega sem leki mun bregðast ofbeldi við súrefnið í loftinu og byrja að brenna; og ösku₃Mjög eitruð, allir smávægilegir lekar geta valdið hættu á mannlífi, það er vegna þessara augljósa hættna, þannig að kröfur um öryggi kerfishönnunarinnar eru sérstaklega miklar.

Notkunarumfang lofttegunda  

Sem mikilvægt grunnhráefni nútíma iðnaðar eru bensínafurðir mikið notaðar og mikill fjöldi algengra lofttegunda eða sérstakra lofttegunda er notaður í málmvinnslu, stáli, jarðolíu, efnaiðnaði, vélum, rafeindatækni, gleri, keramik, byggingarefni, smíði, matvælavinnslu, læknisfræði og læknisfræðilegum geirum. Notkun bensíns hefur mikilvæg áhrif á hátækni þessara sviða sérstaklega og er ómissandi hráefni gas eða vinnslugas. Aðeins með þörfum og kynningu á ýmsum nýjum iðnaðargeirum og nútímavísindum og tækni er hægt að þróa gasiðnaðarvörurnar með Leaps og mörkum hvað varðar fjölbreytni, gæði og magn.

Gasforrit í ör rafeindatækni og hálfleiðaraiðnað

Notkun gas hefur alltaf gegnt mikilvægu hlutverki í hálfleiðara ferli, sérstaklega hefur hálfleiðara ferlið verið mikið notað í ýmsum atvinnugreinum, allt frá hefðbundnum ULSI, TFT-LCD til núverandi ör-raf-vélrænna iðnaðar (MEMS), sem allar nota svokallaða hálfleiðara ferli sem framleiðsluferlið. Hreinleiki gassins hefur afgerandi áhrif á afköst íhluta og ávöxtunar vöru og öryggi gasframboðsins tengist heilsu starfsfólks og öryggi verksmiðju.

Mikilvægi mikils pípulaga í gasflutningum með mikla hreinleika

Í því ferli að bráðna og búa til efni úr ryðfríu stáli er hægt að frásogast um 200g af gasi á hvert tonn. Eftir vinnslu ryðfríu stáli frásogaði ekki aðeins yfirborðið með ýmsum mengunarefnum, heldur einnig í málmgrindunum þess einnig ákveðið magn af gasi. Þegar það er loftstreymi í gegnum leiðsluna, frásogar málmurinn þennan hluta gassins mun loftflæðið koma aftur inn og menga hreint gas. Þegar loftstreymið í slöngunni er ósamfellt flæði, aðsogar slönguna gasið undir þrýstingi og þegar loftstreymið hættir liggur, myndast gasið aðsogað með slöngunni þrýstingsfall til að leysa og leyst gasið fer einnig inn í hreint gas í slöngunni sem óhreinindi. Á sama tíma eru aðsog og upplausn endurtekin, þannig að málmurinn á innra yfirborði slöngunnar framleiðir einnig ákveðið magn af dufti, og þessar málm rykagnir menga einnig hreint gas inni í slöngunni. Þetta einkenni slöngunnar er nauðsynleg til að tryggja hreinleika flutnings gassins, sem krefst ekki aðeins mjög mikillar sléttar á innra yfirborði slöngunnar, heldur einnig mikilli slitþol.

Þegar gasið með sterka tærandi afköst er notað verður að nota tæringarþolnar ryðfríu stáli rör við lagnir. Annars mun pípan framleiða tæringarbletti á innra yfirborði vegna tæringar og í alvarlegum tilvikum verður stórt svæði úr málmstrippi eða jafnvel götun, sem mun menga hreint gas sem á að dreifa.

Tenging mikils hreinleika og háhreinsunargasflutnings og dreifingarleiðslna með stórum rennslishraða.

Í meginatriðum eru þau öll soðin og krafist er að slöngurnar sem notaðar eru hafi enga breytingu á skipulagi þegar suðu er beitt. Efni með of mikið kolefnisinnihald er háð loft gegndræpi soðnu hlutanna þegar suðu, sem gerir gagnkvæma skarpskyggni lofttegunda innan og utan pípunnar og eyðileggur hreinleika, þurrkur og hreinleika sendu gassins, sem leiðir til taps á öllum viðleitni okkar.

Í stuttu máli, fyrir háhyggju gas og sérstaka gasflutningsleiðslu, er nauðsynlegt að nota sérstaka meðferð á ryðfríu stáli pípu með háu hreinleika, til að búa til háhæðarleiðslukerfi (þ.mt rör, innréttingar, lokar, VMB, VMP) í gasdreifingu með mikilli hreinleika.

Almennt hugtak um hreina tækni til flutnings og dreifingarleiðslna

Mjög hrein og hrein gasflutningur með leiðslum þýðir að það eru ákveðnar kröfur eða stjórntæki fyrir þrjá þætti gassins sem á að flytja.

Gashreinleiki: Innihald óhreininda andrúmslofts í GGAS hreinleika: Innihald óhreininda andrúmsloftsins í gasinu, venjulega gefið upp sem hlutfall af gashreinleika, svo sem 99.9999%, er einnig gefið upp sem rúmmálshlutfall óhreininda andrúmslofts Innihald ppm, ppb, ppt.

Þurrkur: Magn raka í gasinu, eða magnið sem kallast bleyta, venjulega gefið upp með tilliti til döggpunkts, svo sem andrúmsloftsþrýstings -punktur -70. C.

Hreinlæti: Fjöldi mengunar agna sem er að finna í gasinu, agnastærð µm, hversu margar agnir/m3 til að tjá, fyrir þjöppuðu loft, venjulega einnig tjáð með tilliti til þess hve mörg mg/m3 af óhjákvæmilegum fastum leifum, sem nær yfir olíuinnihaldið.

Flokkun mengunarstærðar: Mengunarefni agnir, vísar aðallega til skurðar fyrir leiðslur, slit, tæringu sem myndast af málmagnum, andrúmslofts sótagnir, svo og örverur, fag og raka sem innihalda gasþéttingu, er í samræmi við stærð þess að stærð þess er skipt í gasþéttingu þess, í samræmi við stærð agnastærðar hennar í skipt í skipt í gasþéttingu, osfrv.

a) Stórar agnir - agnastærð yfir 5μm

b) ögn-Efni þvermál á milli 0,1μm-5μm

c) öfgafullt ör agnir-agnastærð minna en 0,1μm.

Til að auka beitingu þessarar tækni, til að geta skynjað skilning á agnastærð og μm einingum, er sett af sértækri agnastöðu til viðmiðunar

Eftirfarandi er samanburður á sérstökum agnum