Tæknilausnir fyrir háhreint gasflutningskerfi fyrir hálfleiðaraferli

Háhreint gaslagnatækni er mikilvægur hluti af háhreinu gasveitukerfi, sem er lykiltæknin til að skila nauðsynlegu háhreinu gasi á notkunarstað og samt viðhalda hæfum gæðum;Háhreina gaslagnatækni felur í sér rétta hönnun kerfisins, val á innréttingum og fylgihlutum, smíði og uppsetningu og prófun.Á undanförnum árum hafa sífellt strangari kröfur um hreinleika og óhreinindi í lofttegundum með mikla hreinleika við framleiðslu á örraeindavörum sem táknuð eru með samþættum rafrásum í stórum stíl valdið því að leiðslutækni háhreinna lofttegunda hefur sífellt meiri áhyggjur og lagt áherslu á.Eftirfarandi er stutt yfirlit yfir háhreint gaslagnir úr efnisvaliof framkvæmdir, auk móttöku og daglegrar stjórnun.

Tegundir algengra lofttegunda

Flokkun algengra lofttegunda í rafeindaiðnaði：

Algengar lofttegundir（Magn gas）: vetni (H₂₎, köfnunarefni (N₂), súrefni (O₂), argon (A₂), o.s.frv.

Sérlofttegundireru SiH₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  BCL_{3 ,}SÍF₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… o.s.frv.

Tegundir sérstakra lofttegunda má almennt flokka sem ætandigasi, eitraðgasi, eldfimtgasi, eldfimtgasi, óvirkurgasi, o.fl. Algengar hálfleiðaralofttegundir eru almennt flokkaðar sem hér segir.

(i) Ætandi / eitraðgasi: HCl, BF₃, WF₆, HBr, SiH₂Cl₂, NH₃, PH₃, Cl₂, BCl₃… o.s.frv.

(ii) Eldfimigasi: H₂, CH₄, SiH₄, PH₃, AsH3, SiH₂Cl₂, B₂H₆, CH2F_2,CH₃F, CO ... osfrv.

(iii) eldfimigasi: Ó₂, Cl₂, N₂Ó, NF₃… o.s.frv.

(iv) Óvirkurgasi: N₂, CF₄, C₂F₆, C₄F_8,SF₆, CO₂, Ne, Kr, He...o.s.frv.

Margar hálfleiðara lofttegundir eru skaðlegar mannslíkamanum.Einkum sumar þessara lofttegunda, eins og SiH₄ sjálfkveiki, svo framarlega sem leki bregst kröftuglega við súrefninu í loftinu og byrjar að brenna;og AsH₃mjög eitrað, hvers kyns lítilsháttar leki getur valdið hættu á mannslífum, það er vegna þessara augljósu hættu, þannig að kröfur um öryggi kerfishönnunar eru sérstaklega háar.

Umfang notkunar lofttegunda  

Sem mikilvægt grunnhráefni nútíma iðnaðar eru gasvörur mikið notaðar og mikill fjöldi algengra lofttegunda eða sérstakra lofttegunda er notaður í málmvinnslu, stáli, jarðolíu, efnaiðnaði, vélum, rafeindatækni, gleri, keramik, byggingarefni, smíði. , matvælavinnslu, læknisfræði og læknisfræði.Notkun gass hefur mikilvæg áhrif á hátækni þessara sviða sérstaklega og er ómissandi hráefnisgas eða vinnslugas þess.Aðeins með þörfum og kynningu á ýmsum nýjum iðngreinum og nútímavísindum og tækni er hægt að þróa gasiðnaðarvörur með stökkum hvað varðar fjölbreytni, gæði og magn.

Gasnotkun í öreindatækni og hálfleiðaraiðnaði

Notkun á gasi hefur alltaf gegnt mikilvægu hlutverki í hálfleiðaraferlinu, sérstaklega hálfleiðaraferlið hefur verið mikið notað í ýmsum atvinnugreinum, allt frá hefðbundnum ULSI, TFT-LCD til núverandi ör-rafmagns (MEMS) iðnaðar, allt sem nota svokallað hálfleiðaraferli sem framleiðsluferli afurða.Hreinleiki gassins hefur afgerandi áhrif á frammistöðu íhluta og afrakstur afurða og öryggi gasafhendingar tengist heilsu starfsmanna og öryggi í rekstri verksmiðjunnar.

Mikilvægi hreinnar lagna í háhreinu gasflutningi

Í því ferli að bræða ryðfríu stáli og búa til efni geta um 200 g af gasi frásogast á hvert tonn.Eftir vinnslu á ryðfríu stáli, ekki aðeins yfirborð þess klístrað með ýmsum aðskotaefnum, heldur einnig í málmgrindinni, gleypir einnig ákveðið magn af gasi.Þegar loftstreymi er í gegnum leiðsluna gleypir málmurinn þennan hluta gassins aftur inn í loftflæðið og mengar hreina gasið.Þegar loftstreymi í rörinu er ósamfellt flæði, aðsogar rörið gasið undir þrýstingi og þegar loftstreymið hættir að fara myndar gasið sem aðsogast af rörinu þrýstingsfall til að leysast upp og uppleysta gasið fer einnig inn í hreina gasið í rörinu. sem óhreinindi.Á sama tíma er aðsogið og upplausnin endurtekin, þannig að málmurinn á innra yfirborði rörsins framleiðir einnig ákveðið magn af dufti og þessar málmrykagnir menga einnig hreina gasið inni í rörinu.Þessi eiginleiki rörsins er nauðsynlegur til að tryggja hreinleika flutningsgassins, sem krefst ekki aðeins mjög mikillar sléttleika á innra yfirborði rörsins, heldur einnig mikla slitþol.

Þegar gasið með sterka ætandi frammistöðu er notað verður að nota tæringarþolnar ryðfríu stálrör fyrir leiðslur.Annars mun pípan framleiða tæringarbletti á innra yfirborði vegna tæringar og í alvarlegum tilfellum verður stórt svæði af málmröndun eða jafnvel götun, sem mun menga hreina gasið sem á að dreifa.

Tenging flutnings- og dreifingarleiðslna fyrir gas með miklum hreinleika og mikilli hreinleika með miklum rennsli.

Í grundvallaratriðum eru þær allar soðnar og þess er krafist að slöngurnar sem eru notaðar hafi engar breytingar á skipulagi þegar suðu er beitt.Efni með of hátt kolefnisinnihald eru háð loftgegndræpi soðnu hlutanna við suðu, sem gerir gagnkvæma gegnumbrot lofttegunda innan og utan pípunnar og eyðileggur hreinleika, þurrleika og hreinleika lofttegundarinnar sem send er, sem leiðir til taps á allt okkar viðleitni.

Í stuttu máli, fyrir háhreint gas og sérstaka gasflutningsleiðslu, er nauðsynlegt að nota sérstaka meðhöndlun á háhreinu ryðfríu stáli pípu til að búa til háhreint leiðslukerfi (þar á meðal rör, festingar, lokar, VMB, VMP) í Dreifing á háhreinu gasi gegnir mikilvægu hlutverki.

Almenn hugmynd um hreina tækni fyrir flutnings- og dreifileiðslur

Mjög hreinn og hreinn gasflutningur með leiðslum þýðir að það eru ákveðnar kröfur eða stýringar fyrir þrjá þætti gassins sem á að flytja.

Gashreinleiki: Innihald óhreininda í andrúmsloftinu í gGas hreinleika: Innihald óhreinindalofts í gasinu, venjulega gefið upp sem hlutfall af hreinleika gassins, svo sem 99,9999%, einnig gefið upp sem rúmmálshlutfall óhreininda andrúmsloftsins ppm, ppb, ppt.

Þurrkur: magn raka í gasinu, eða magn sem kallast blauta, venjulega gefið upp sem daggarmark, svo sem daggarmark andrúmsloftsþrýstings -70.C.

Hreinleiki: fjöldi mengandi agna í gasinu, kornastærð µm, hversu margar agnir/M3 á að tjá, fyrir þjappað loft, venjulega einnig gefið upp sem hversu mörg mg/m3 af óumflýjanlegum leifum í föstu formi, sem þekur olíuinnihald .

Stærðarflokkun mengunarefna: mengandi agnir, vísar aðallega til hreinsunar á leiðslum, slits, tæringar sem myndast af málmögnum, sótagnir í andrúmsloftinu, svo og örverum, fögum og raka-innihaldandi gasþéttingardropa osfrv., í samræmi við stærð kornastærðar þess. er skipt í

a) Stórar agnir – kornastærð yfir 5μm

b) Ögn – þvermál efnis á bilinu 0,1μm-5μm

c) Ultra-micro agnir – kornastærð minni en 0,1μm.

Til að auka beitingu þessarar tækni, til að geta skilið skynjun á kornastærð og μm einingum, er sett af sérstakri agnastöðu til viðmiðunar

Eftirfarandi er samanburður á sérstökum ögnum