Framleiðsluferlið rafrænna sérgreina lofttegunda felur í sér nokkra ferla, svo sem myndun, hreinsun, fyllingu, greiningu og prófanir, blöndun og hlutfalli. Til þess að uppfylla kröfur um framleiðslu á hálfleiðara fyrir hreinleika og óhreinindi er hreinsunarferlið mjög mikilvægt. Það fer eftir samsetningu andstreymis myndunar gas eða hrátt gas, eimingu lágs hitastigs eða fjögurra þrepa hreinsun.
Miklar hreinleika kröfur
Skipta má undirbúningsferli rafrænna sérstakra lofttegunda í tvær helstu blokkir af undirbúningi og hreinsun andstreymis og hreinsun, sem tilheyrir efnaframleiðsluferlinu. Stærð framleiðsluleiðslunnar er stór og það er engin sérstök kröfur um hreinleika. Eftir hreinsun í niðurstreymi er varan fyllt með gasi og blandað til undirbúnings. Framleiðsluleiðslan er lítil og hefur kröfur um hreinleika. Það þarf að uppfylla stöðluðu forskriftarferli hálfleiðara.
Miklar þéttingarkröfur
Vegna efnafræðilegrar virkni þeirra setja rafrænar sérgreinar einnig miklar kröfur um efni og innsigli framleiðslukerfisins. Rétt eins og kröfur um hálfleiðara framleiðslu kemur það í veg fyrir leka viðmóts af völdum tilkomu óhreininda eða tæringar á sérstökum lofttegundum. Einnig er hægt að nota kerfið til að koma í veg fyrir kynningu á óhreinindum eða leka viðmóts af völdum tæringar sérstakra lofttegunda.
Hágæða stöðugleika kröfur
Gæði rafrænna sérhæfðra lofttegunda innihalda fjölda vísbendinga eins og hreinleika og óhreinindi agna. Allar breytingar á vísbendingum hafa áhrif á niðurstöður framleiðsluferlisins í hálfleiðara. Þess vegna, til að tryggja samræmi rafrænu sérstaka gasafurðavísana, er undirbúningsferli kerfið til að stjórna stöðugleika vísana einnig mjög mikilvæg.
Vegna efnafræðilegrar virkni og gæðakrafna EGP verður framleiðslukerfið fyrir EGP undirbúning, sérstaklega hreinsunarkerfið í downstream, uppfylla kröfur um mikla hreinleika efni, mikla þéttingu, mikla hreinleika og hágæða samkvæmni og smíði verkfræðinga íhluta verður að uppfylla staðla hálfleiðara framleiðsluiðnaðar.
Það sem við vísum oft til sem „mikil hreinleiki“ er fræðilega skilgreiningin á hreinleika efnis, svo sem mikið hreinleika lofttegunda, efni með mikla hreinleika o.s.frv. Er einnig vísað til vinnslukerfa eða vinnslukerfisþátta sem eru notaðir á háhyggjuefni eru einnig vísað til sem háhyggju, svo sem há-verðmætakerfi og hágildislokar. Rafrænt undirbúningskerfi fyrir sérgreinar þarfnast innréttinga með mikla hreinleika, lokar og aðra vökvaíhluti, þ.e. festingar og lokar sem eru unnir með miklum hreinleikum og hreinum framleiðsluferlum og eru uppbyggðir til að auðvelda hreinsun og hreinsun. Með mikilli þéttingarafköstum. Þessir vökvaþættir eru hannaðir til að uppfylla ferli rennslisleiðarinnar með því að nota verkfræði- og byggingarkröfur hálfleiðaraiðnaðarins.
Hátt hreinleika leiðslur tengingar
VCR málmþétting andlits innsigli tengingar og sjálfvirkar leiðar rassstengingar eru mikið notaðar í kröfum um vökvakerfi hreinleika ferli vegna getu til að uppfylla bæði slétt umskipti flæðisstígsins við tenginguna, ekkert stöðnunarsvæði og háa þéttingarafköst. VCR tengingar mynda þröngt yfirborðs innsigli með því að ná tiltölulega mjúkum málmgötu. Endurtekin og stöðug tenging og innsiglunarafköst eru tryggð í hvert skipti sem aflagaða þéttingin er fjarlægð og skipt út.
Rör eru soðin með sjálfvirku svigrúm suðukerfi. Rörið er varið með mikilli hreinleika gas að innan og utan. Volfram rafskautið snýst meðfram sporbraut fyrir hágæða suðu. Að fullu sjálfvirkt svigrúm suðu bráðnar pípuna án þess að kynna önnur efni, að ná hágæða suðu með því að stjórna ítrekað þunnum veggspípu er erfitt að ná með handvirkri suðu.
Myndbandstæki Metal Gasket Face Seal Connection
Sjálfvirk svigrúm suðu tenging pípna
Hátt hreinleika lokar
Efnafræðileg virkni eldfim, sprengiefni, ætandi og eitruð rafrænt lofttegundir setja miklar kröfur um innsigli lokans. Til að bæta þéttleikaþéttni er krafan um pakkalausan loka til að koma í veg fyrir utanaðkomandi leka, það er að skipta um notkun loki stilkur og loki líkamans á milli innsiglsins með því að nota málmbelg eða málmþind, til að koma í veg fyrir leka vegna slits og aflögunar innsigli. Bellows-innsiglaðir og þindarþættir lokar eru almennt notaðir í vinnslukerfum til að fá háhyggju vegna meiri áreiðanleika innsiglanna og auðveldari hreinsunar og hreinsa skiptisventilsins.
Bellows-innsiglaðir lokar eru pakklaus nálarventill sem gerir kleift að fá hæga opnun og flæðisreglugerð. Notað til rafrænna sérgreiningar með öryggisflæðisþörf eða á undanfara uppsprettuflöskur með miklum öryggisþörf. Allar málmstofninn þjórfé innsigli gera ráð fyrir mjög lágum rekstrarhita og eru notaðir við kryógenískt fljótandi áhrif rafrænna sérgreina í fullunninni vörutönkum eftir kryógen eimingu fyrir lagnir.
Springless þindarþéttni loki er 1/4 ″ Snap-opinn loki til notkunar sem sjálfkrafa stýrður skiptiventill í afhendingarleiðslum. Þau eru almennt notuð í öfgafullum háþrýstingi, mikilli hreinleika vegna einfaldrar innri rennslisstígs þeirra, lítið innra rúmmáls og auðvelda hreinsun og skipti.
Lokar með þind sem eru lokaðir sem lokast um stilkurinn geta opnað hægt og verið notaðir við hærri rekstrarþrýsting en þindarlokar sem ekki eru með þind. Þau eru mikið notuð á háþrýstings rafrænni sérgreinasöfnun eða uppsprettuflöskur undanfara.
Secondary Seal Bellows loki er ekki aðeins hægt að nota í öfgafullu lágu hitastigskerfi við -200 gráður, heldur kemur einnig í veg fyrir leka hættulegra miðla út í andrúmsloftið. Venjulega notað fyrir mjög hættulegar rafrænar sérstakar lofttegundir, svo sem silanfyllingarkerfi.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, með yfir 10 ára reynslu af framboði iðnaðar og sérgreina, efni, gasframboðskerfi og gasverkfræði fyrir hálfleiðara, LED, DRAM, TFT-LCD markaði, getum við veitt þér nauðsynleg efni til að ýta vörum þínum í framhaldsnám í greininni. Við getum ekki aðeins veitt fjölbreytt úrval af lokum og innréttingum fyrir hálfleiðara rafrænar sérgreinar, heldur getum við einnig hannað gasleiðslur og uppsetningu búnaðar fyrir viðskiptavini okkar. Ef þú hefur einhverjar þarfir á þessu sviði, vinsamlegast hafðu samband við okkur í 27919860.
Post Time: 19. júlí 2023