Gasiðnaður í hálfleiðaraiðnaðinum

Notkun lofttegunda í hálfleiðaraiðnaðinum er frá því snemma til 1950 til 1960. Meðan á hálfleiðara framleiðsluferlinu stendur eru lofttegundir aðallega notaðar til að hreinsa og vernda hálfleiðara efni til að tryggja hreinleika þeirra og gæði. Meðal algengustu lofttegunda eru köfnunarefni og vetni.

Þegar hálfleiðara tækni þróaði og framleiðsluferli hélt áfram að bæta, jókst eftirspurn eftir lofttegundum. Árið 1970 jókst frekari þróun á hálfleiðara framleiðslutækni, beitingu lofttegunda í lykilferlum eins og ætingu og útfellingu þunnra kvikmynda smám saman og flúoríð lofttegundir (t.d. 1980 jókst frekari aukning á eftirspurn eftir lofttegundum með þróun samþættra hringrásar og aukningu á eftirspurn eftir þeim. Vetni var mikið notað í framleiðsluferlinu, þar með talið vetnisglæðningu og vetnisgufuútfellingu. Og frá 1990 til dagsins í dag hefur eftirspurn eftir háhyggju lofttegundum og sértækum lofttegundum aukist þegar hálfleiðandi tækjastærðir hafa haldið áfram að skreppa saman og ný ferli hefur verið kynnt. Sem dæmi má nefna að beiting öfgafullrar útfjólubláa lithography (EUV) krefst notkunar afar hágildra lofttegunda eins og köfnunarefnis og vetnis.

Hálfleiðari gas heldur áfram að aukast með þróun skyldra vara sem ekið er af fleiri og fleiri vörum kemur í ljós, en gasið tilheyrir einnig uppsprettu hættu, þannig að afurðirnar sem notaðar eru við þrýstingsþrýsting, gasgreiningarafurðir og koma í veg fyrir að gaslækkunarafurðir hafa komið fram eins og þrýstingseftirlitar, gaslokar, gasþrýstingsmælar, gasleka skynjari o.s.frv. Og Roles þeirra eru eins og eftirfarandi: Fylgt er:

Þrýstingseftirlitar: Þrýstingseftirlitsaðilar eru tæki sem notuð eru til að stjórna gasþrýstingi. Þeir samanstanda venjulega af eftirlitsstofnaloka og þrýstingskynjara. Þrýstingseftirlitsaðilar taka háþrýstingsgasinntak og koma á stöðugleika þrýstings framleiðslugassins með því að stilla lokann til að uppfylla sérstakar kröfur um notkun. Þrýstingseftirlitsaðilar eru mikið notaðir á sviðum eins og iðnaði, framleiðslu og rannsóknarstofum, svo og í hálfleiðaraiðnaðinum, meðal annarra, til að tryggja stöðugleika og öryggi gasframboðsins.

Gasventlar: Gasventlar eru notaðir til að stjórna flæði lofttegunda og til að loka gasgöngum. Þeir hafa venjulega ON/OFF aðgerð sem opnar eða lokar gasflæðinu. Það eru til ýmsar gerðir af bensínlokum, þar með talið handvirkum lokum, raflokum og loftlokum. Þau eru mikið notuð í gaskerfum til að stjórna flæði, þrýstingi og rennslishraða lofttegunda.

Gasþrýstimælar: Gasþrýstimælar eru notaðir til að mæla þrýstingsgildi gas. Þeir eru venjulega settir upp á mikilvægum stöðum í gaskerfum til að fylgjast með þrýstingsbreytingum og tryggja að þær séu innan öruggra marka. Gasþrýstimælar eru mikið notaðir í iðnaði, framleiðslu og rannsóknarstofum og einnig hefur hálfleiðaraiðnaðurinn verið með.

Gasleka skynjarar: Gasleka skynjarar eru notaðir til að greina leka í gaskerfum. Þeir uppgötvaTilvist gasleka og hljómar viðvörun svo hægt sé að grípa til tímabærra aðgerða til að koma í veg fyrir lekaslys. Gas lekaskynjarar eru mikið notaðir í iðnaðar-, efna-, olíu- og gasforritum og einnig hefur hálfleiðaraiðnaðurinn verið með.