Notkunarsvið fyrir gasleiðslukerfi með mikla opnleika

Verkefnið inniheldur hátækniiðnað eins og hálfleiðara, samþætta hringrás, flatskjái, optoelectronics, bifreiðar, nýja orku, nano, ljósleiðara, ör rafeindatækni, petrochemicals, lífeðlisfræði, ýmsar rannsóknarstofur, rannsóknarstofnanir og staðlað próf, o.fl.

Mikil hreinleika gasleiðslutækni

　　Mikil hreinleika gasleiðslutækni er mikilvægur hluti af gasframboðskerfinu með mikla hreinleika og er mikilvæg tækni til að veita háum hreinleika lofttegundum til nauðsynlegs framboðs. Hin svokölluð háhyggju gasleiðslutækni felur í sér rétta hönnun kerfisins, val á festingum og fylgihlutum, smíði og uppsetningu, prófunum og ...

　　Tegundir almennra lofttegunda

　　Almennar lofttegundir eru flokkaðar í almenna gas rafeindatækniiðnaðinn sem: almennar lofttegundir, einnig þekktar sem lausu lofttegundir: vetni (H2), köfnunarefni (N2), súrefni (O2), argon (A2) og aðrar sérstakar lofttegundir (sérhæfðar lofttegundir) aðallega kísill tetrachlorid Hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride og boron hexafluoride. o.fl. Tegundir sérstakra lofttegunda eru venjulega flokkaðar sem ætandi, eitruð, eldfim, eldfimt aðstoðar, óvirk og svo framvegis.

　　Almennar hálfleiðara lofttegundir eru flokkaðar á eftirfarandi hátt

　　(1) Tærandi/eitrað: Hydrochloric Acid, BF3, WF6, HBR, SILICA, NH3, PH3, CL2, BCL 3, osfrv.

　　(ii) FLAMMATION3336H2, CH4, SIH4, PH3, ASH3, SIH2CL2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO. Og svo framvegis.

　　(3) eldfimi: O2, CL2, N2O, NF3… osfrv.

　　(4) hálfleiðari lofttegundir, svo sem göfugir lofttegundir: CF4, C2F6, C4F8, CO2, Neon, Krypton, Helium…. Skaðlegt mannslíkamanum.

　　Einkum hafa sumar lofttegundir, svo sem SIH4, eiginleika skyndilegs brennslu. Þegar leki á sér stað mun það bregðast ofbeldi við súrefnið í loftinu og byrja að brenna. HASH3 er einnig eitrað. Minniháttar lekar geta skaðað líf fólks. Vegna þessara augljósu hættna eru öryggiskröfur fyrir kerfishönnun sérstaklega miklar.

　　Rafrænt sérstakt gasleiðslukerfi