Meðferðarbúnað með gasgasi getur séð um lofttegundir sem notaðar eru í ætingarferlum og efnafræðilegum gufuútfellingarferlum í hálfleiðara, fljótandi kristal og sólarorkuiðnaði, þar á meðal SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O og SO.
Meðferðaraðferð útblásturslofts
Samkvæmt einkennum meðferðar við útblástursloft er hægt að skipta meðferðinni í fjórar tegundir meðferðar:
1. Vatnsþvottategund (meðferð á ætandi lofttegundum)
2. Oxunargerð (takast á við eldfim og eitruð lofttegundir)
3. Aðsog (samkvæmt gerð aðsogsefnis til að takast á við samsvarandi útblástursloft).
4. Plasma brennslutegund (hægt er að meðhöndla allar tegundir útblásturslofts).
Hver tegund meðferðar hefur sína kosti og galla sem og umfang notkunar. Þegar meðferðaraðferðin er vatnsþvottur er búnaðurinn ódýr og einfaldur og getur aðeins sinnt vatnsleysanlegum lofttegundum; Notkunarsvið rafmagnsvatnsþvottategundarinnar er hærra en vatnsþvottategundin, en rekstrarkostnaðurinn er mikill; Þurrt gerð hefur góða meðferðar skilvirkni og á ekki við um gasflæðið sem auðvelt er að stífla eða flæða.
Efni og aukaafurðir þeirra sem oft eru notaðar í hálfleiðaraiðnaðinum er hægt að flokka í samræmi við efnafræðilega eiginleika þeirra og mismunandi svið þeirra:
1. Eldfimar lofttegundir eins og SIH4H2 osfrv.
2. Eitrað lofttegundir eins og ASH3, PH3, ETC.
3. tærandi lofttegundir eins og HF, HCl, ETC.
4. gróðurhúsalofttegundir eins og CF4, NF3, ETC.
Þar sem ofangreindar fjórar lofttegundir eru skaðlegar umhverfinu eða mannslíkamanum, verða að koma í veg fyrir beina losun þess í andrúmsloftinu, þannig að almennu hálfleiðarverksmiðjan er sett upp með stóru miðstýrðu útblástursloftskerfi, en þetta kerfi er aðeins vatnsskúfandi útblástur, þannig að notkun þess er takmörkuð við langvarandi vatnsleysanlegt lofttegundir og getur ekki tekist á við sífellt breytingu og lúmskt skiptingu hálfleiðsluferilsins. Þess vegna er nauðsynlegt að velja og passa við samsvarandi útblásturslofts meðferðarbúnað í samræmi við gaseinkenni sem fengin eru úr hverju ferli til að leysa útblástursloftsvandann á lítinn hátt. Þar sem vinnusvæðið er að mestu leyti fjarri meðferðarkerfinu í útblásturslofti, leiða oft vegna gaseinkenna til kristöllunar eða uppsöfnun ryks í leiðslunni, sem leiðir til stíflu á leiðslunni sem leiðir til gasleka og í alvarlegum tilvikum, jafnvel valdið sprengingu, getur ekki tryggt að starfsmannaröryggi svæðisins. Þess vegna þarf á vinnusvæðinu að stilla lítinn meðferðarbúnað fyrir útblásturslofti sem hentar fyrir einkenni ferlisgassins, til að draga úr stöðnun útblástursgas á vinnusvæðinu, til að tryggja öryggi starfsfólks.
Pósttími: Ág-10-2023